真空混合漏孔檢漏步驟探討
在用質(zhì)譜儀作混合氣體配比試驗(yàn)時(shí),兩個(gè)1L玻璃瓶別離裝有壓強(qiáng)為數(shù)千帕的兩種氣體,經(jīng)Φ6mm的玻管繼續(xù)混合時(shí),需經(jīng)3～4h后,質(zhì)譜圖上兩種氣體的峰高比才穩(wěn)固,正常配氣后寄存12h才運(yùn)用。這種依附氣體放散而非高真空下分子自在靜止的混合內(nèi)中是湍急的,某個(gè)試驗(yàn)與現(xiàn)鉆研的混合漏孔的物理內(nèi)中是類似的。
對(duì)漏孔的延時(shí)特點(diǎn)鉆研,在試驗(yàn)數(shù)據(jù)里,再有多少個(gè)沒能引證的景象,一是圖6上示意的M=40的Ar峰上升速率遠(yuǎn)大于M=29代辦的大氣回升，第二個(gè)問題是:那末提早工夫以5h劃算,則漏孔的原儲(chǔ)存的總大氣量應(yīng)有0125cm3(在1atm時(shí))。很顯然,檢漏的傳感器不太可能有0125cm3的漏孔體積。上述抵觸可能是充入的示透氣體因塑料袋包扎不嚴(yán)混入大氣,也可能存在其它漏孔,再有待于進(jìn)一步鉆研確認(rèn)。
混合漏孔因示透氣體深淺的一呼百應(yīng)進(jìn)度極慢,且存在延時(shí)效應(yīng),故用通例的示透氣體噴吹,無奈探得漏孔的存在和測(cè)得漏率值的大小。
真空元器件生年中僅用通例質(zhì)譜檢漏法,有可能漏檢混合漏孔。提議輔用質(zhì)譜計(jì)比照法克服出品的快捷測(cè)定務(wù)求。質(zhì)譜計(jì)比照法即把被檢元件用隔離閥與質(zhì)譜計(jì)真空零碎聯(lián)接,視察隔離閥啟閉后大氣質(zhì)譜峰的變遷確定漏孔的存在。也可采納另一種輔助步驟,即把成批元件寄存于真空室內(nèi),先抽氣,后充示透氣體He,讓漏孔內(nèi)有充足工夫抽除原存貯大氣和再存貯示透氣體,而后逐個(gè)存入,在維持期內(nèi)測(cè)定He氣深淺,因?yàn)橛惺Ｓ嚅L維持工夫,不會(huì)因示透氣全衰減而檢漏挫敗。
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