無油分子泵機組的設(shè)計計劃
正常分子泵機組的設(shè)計是單氣路,如圖4所示。作業(yè)內(nèi)中是:①啟動前級電泵P2使真空室內(nèi)氣體通過聯(lián)接管路—分子泵—聯(lián)接管路—電泵,而后排到大氣。②當(dāng)分子泵前級達成分子泵啟動壓強時啟動分子泵,真空室內(nèi)氣體同樣通過聯(lián)接管路—分子泵—聯(lián)接管路—電泵,而后排到大氣。在前中①中,分子泵沒有啟動,僅起到一個管路的作用,但因為分子泵存在多層渦輪型葉片的簡單構(gòu)造,增大了電泵的流阻,同聲也就注定增多了抽氣工夫。而關(guān)于前級是有油旋片泵的分子泵機組,分子泵的這種構(gòu)造起到擋油作用,大大縮小了電泵的返油。有油分子泵機組上的分子泵須要定計蕩滌就是所以某個起因。
圖4 單氣路聯(lián)接分子泵機組示用意
關(guān)于本套機組而言,那末采納正常氣路設(shè)計計劃,在干泵粗抽時,氣體要先通過兩個構(gòu)造簡單、流阻大的分子泵能力排到大氣,關(guān)于較大的零碎采納這種計劃抽氣工夫較長,是不行取的。咱們充足利用干泵不會對真空零碎造成油凈化的長處,又利用1By6型干泵的大抽速性能,對原有氣路增多了一套旁路(見圖5),作業(yè)內(nèi)中是:①開啟閥門V1、V2,啟動干泵P3,開啟低真空計G2,抽除真空室及兩個分子泵中的氣體;②當(dāng)?shù)驼婵沼婫2的批示達成100Pa時,開放閥門V2,啟動牽引分子泵P2,開啟真空計G1;③待達成ATP100的啟動壓強后,開啟渦輪分子泵P1。
圖5 帶旁路分子泵機組氣路示用意
泵間配總計算
白文以N2為例繼續(xù)劃算,通過圖5中帶旁路設(shè)計的作業(yè)內(nèi)中①②,依據(jù)圖2(P2的抽速曲線),可劃算最大排器量為Q=300Pa·L/s,又依據(jù)P2的最大出氣口壓力務(wù)求,可劃算出P2需前級泵的抽速S干>0.075L/s;由干泵抽速曲線圖3①可知,干泵不僅能滿足務(wù)求而且有很大的剩余。開啟冷規(guī),當(dāng)冷規(guī)激起并作業(yè)畸形后,此時真空度進入0.1Pa便啟動渦輪分子泵P1,再依據(jù)P1的抽速曲線劃算出最大排器量為Q=9Pa·L/s,再由P1最大出氣口壓力務(wù)求劃算出牽引分子泵抽速S牽分>0.9L/s。從牽引分子泵抽氣曲線能夠得悉牽引分子泵抽速滿足務(wù)求但剩余不大。
聯(lián)接管路、儀器支架的設(shè)計及取舍
依據(jù)泵間配合的劃算串聯(lián)合BEPC的理論狀況設(shè)計了聯(lián)接管路及儀器支架,其特點重要體現(xiàn)在以次兩個上面。
①兩個分子泵及其電源、高真空計及規(guī)管裝置在一個儀器推車上,干泵裝置在另一個儀器車上,兩車就位后用漣漪管(兩端快卸卡箍)聯(lián)接。那樣就防止了干泵運行時的強烈震撼莫須有分子泵及真空計作業(yè)。另外由劃算知,干泵作牽引分子泵前級抽速剩余較大,漣漪管上的抽速破財不會對機組運行造成太大莫須有。
②充足利用兩分子泵體積小、分量輕、裝置位置靈敏的長處,使渦輪分子泵正向垂直裝置,牽引分子泵反向垂直裝置。那樣就能夠升高機組的高低且儀器推車的打造也絕對容易。因為牽引分子泵作渦輪分子泵的前級抽速剩余不大,因而兩泵之間用適當(dāng)尺寸的三通聯(lián)接(其中一通為檢漏儀預(yù)留),那樣能夠縮小管路上的抽速破財。
下結(jié)論：
經(jīng)過正當(dāng)?shù)脑O(shè)計聯(lián)接,最大限度地施展了各泵的長處,使聯(lián)接后的機組失去很好的運用。另外,因為干泵耐可凝性氣體的威力較差,在運用中要留神蕩滌原來運用過有油電泵的被抽室。當(dāng)干泵抽過定然單位曾裸露過濕度較高的大氣的被抽室,干泵的極限真空就會上升。當(dāng)這種狀況產(chǎn)生時,咱們經(jīng)過試驗下結(jié)論出一個教訓(xùn),克服了泵室中的潮氣子含量較高的問題,普及了泵的極限真空。因而,那末有條件的話,毀壞真空時最好對被抽室充干澀氮氣。那末高真空泵為冷凝泵就會大大縮小這種狀況。
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